5 mícrons de filtros em caixa de aço inoxidável do pó com videocassete 1/2" relações
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5 mícrons de filtros em caixa de aço inoxidável do pó com videocassete 1/2" relações

5 mícrons de filtros em caixa de aço inoxidável do pó com videocassete 1/2" relações

Material: pó 316L
Tamanho: φ40*196,3 mm
Precisão do filtro: 5 mícrons
Interface: videocassete 1/2"
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Introdução de Produto

Os cartuchos de filtro de pó de aço inoxidável com interfaces VCR 1/2" são componentes essenciais na fabricação de semicondutores, projetados especificamente para sistemas de distribuição de gás de alta-pureza. Esses cartuchos de filtro utilizam tecnologia avançada de sinterização de pó metálico para obter uma filtragem precisa, capturando efetivamente partículas tão pequenas quanto 5 mícrons. Isso garante o fornecimento de gases de processo ultra{6}}limpos, que são essenciais para manter a integridade dos processos sensíveis de fabricação de semicondutores. A interface VCR 1/2" fornece um metal-à prova de vazamento-com-vedação de metal, atendendo aos rigorosos requisitos de ambientes de semicondutores, onde até mesmo pequenas impurezas de gás podem levar a defeitos significativos em dispositivos microeletrônicos. Sua construção robusta em aço inoxidável-resistente à corrosão garante durabilidade e confiabilidade-de longo prazo sob condições extremas.

 

Em aplicações de semicondutores, esses cartuchos de filtro desempenham um papel vital na proteção de equipamentos downstream, como controladores de fluxo de massa e válvulas de precisão, contra contaminação por partículas. Ao se integrarem perfeitamente às linhas de gás-de alta pureza existentes, eles simplificam a instalação e a manutenção e minimizam o tempo de inatividade do sistema. A combinação de alta eficiência de filtração, resistência química excepcional e vedação confiável os torna indispensáveis ​​para garantir pureza consistente de gás e eficiência operacional em instalações avançadas de produção de semicondutores.

 

Especificações de produtos
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Material: pó 316L
Tamanho: φ40*196,3 mm
Precisão do filtro: 5 mícrons
Interface: videocassete 1/2"
Técnico: Sinterização

Recursos de produtos
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Pureza ultra-alta e retenção de partículas
- A estrutura de aço inoxidável sinterizado (normalmente 316L) fornece um meio de filtração limpo, todo em metal, sem aglutinantes, adesivos ou resíduos orgânicos.
- Capaz de retenção de partículas submicrométricas de até 0,5 μm, evitando que a microcontaminação atinja câmaras de processo ou wafers.
- Sem liberação de partículas, garantindo uma contagem estável de partículas durante o uso a longo prazo.

 

2. Estabilidade mecânica e térmica robusta
- O design totalmente metálico suporta alta pressão, alta temperatura e ciclos térmicos frequentes.
- Mantém a integridade mecânica sob condições de vibração, fluxo reverso ou pulsação de pressão-comuns em sistemas de distribuição de gás.
- Compatível com traceamento térmico para linhas de gás de alta temperatura.

 

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

 

3. Relimpável e Regenerável
- Os elementos filtrantes podem ser retrolavados, limpos por ultrassom ou cozidos a vácuo, proporcionando longa vida útil em comparação com filtros de polímero ou cerâmica.
- O ciclo de vida típico se estende de 5 a 10 vezes o dos filtros descartáveis ​​de PTFE ou PVDF, minimizando o tempo de inatividade e o custo total de propriedade.

4. Compatibilidade Química e Resistência à Corrosão
- 316O aço inoxidável L mantém uma película passiva de óxido em ambientes de cloreto, flúor, amônia e gases ácidos.
- A superfície não reativa evita a extração de íons metálicos ou alterações na composição do gás.

aplicações

 

1. Linhas de distribuição de gás UHP
- Instalado em skids de fornecimento de gás a granel, gabinetes de gás e painéis VMB/VMP, filtrando partículas antes que o gás entre em MFCs ou ferramentas de processo.
- Usado em N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ e outras linhas de gás de alta pureza que alimentam processos críticos.

 

2. Proteção de entrada do controlador de fluxo de massa (MFC)
- Evita a contaminação por partículas e o desgaste das válvulas em controladores de fluxo de massa de precisão.
- Melhora a estabilidade do fluxo a longo prazo e a consistência da calibração dos MFCs.

 

3. Câmara de processo e entradas de gás de ferramenta
- Garante entrega livre de partículas e umidade em fornos de CVD, ALD, corrosão e difusão.
- Usado em linhas SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ e TEOS onde a pureza é crítica para a qualidade e o rendimento do filme.

 

4. Sistemas Especiais de Gás e Precursores
- Para gases metal-orgânicos ou à base de halogênio onde a inércia química e a estabilidade de temperatura são cruciais.
- Frequentemente colocado após vaporizadores ou borbulhadores para capturar partículas ou gotículas condensadas.

 

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